Iz katerega materiala so narejene silicijeve rezine?
Mar 13, 2024
Silicijeve rezine so izdelane iz monokristalnega silicijevega materiala. Monokristalni silicij je silicijev material visoke čistosti s celovitostjo in doslednostjo kristalne strukture. Je eden najpogosteje uporabljenih substratnih materialov v industriji polprevodnikov za proizvodnjo integriranih vezij (IC) in drugih polprevodniških naprav.
Monokristalni silicij se goji pri visokih temperaturah z metodami, kot je kemično naparjevanje (CVD) ali metoda plavajoče cone monokristalnega silicija. V tem procesu silicijev material raste kot en sam kristal in tvori silicijev ingot. Silicijev ingot je podvržen rezanju, izravnavi, poliranju in drugim procesnim korakom, na koncu pa je izdelan v ploščato silicijevo rezino določene debeline.
Silicijeve rezine imajo odlične električne in mehanske lastnosti, dobro toplotno prevodnost, visoko odpornost proti kemični koroziji in dobre optične lastnosti. Zaradi tega so silicijeve rezine idealen substratni material za izdelavo polprevodniških naprav in optoelektronskih naprav. Velikost silicijevih rezin je običajno opisana s premerom. Običajni premeri vključujejo 2 palca (50,8 mm), 4 palca (101,6 mm), 6 palcev (152,4 mm), 8 palcev (203,2 mm) in 12 palcev (304,8 mm).
